【摘 要】
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采用溶胶-凝胶法在LaNiO3基底上制备了Ba0.5Sr0.5TiO3（BST）铁电薄膜。研究了不同退火温度对薄膜结晶性能的影响,并测试了各种BST薄膜的介电性能、铁电性能。实验结果表明经700
【基金项目】
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湖北省教育厅科学技术研究项目（13200560005）.
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采用溶胶-凝胶法在LaNiO3基底上制备了Ba0.5Sr0.5TiO3（BST）铁电薄膜。研究了不同退火温度对薄膜结晶性能的影响,并测试了各种BST薄膜的介电性能、铁电性能。实验结果表明经700℃退火处理的BST铁电薄膜具有比较优越的电性能,在测试频率为1 kHz时,700℃退火的BST薄膜的介电常数为384.1,介电损耗为0.018 6,在室温下外加偏压为1 V时,700℃退火的BST薄膜漏电流密度达到6.7×10^-8A/cm^2,其剩余极化强度和矫顽场分别为4.85μC/cm^2和65.2
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