【摘 要】
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对钛和一氧化钛薄膜的吸附能力进行高真空和超高真空测量。在室温条件下,钛和一氧化钛簿膜用作消气剂时所表现的特性明显相同;而在低温下,一氧化钛薄膜的吸附活性及吸附能力
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对钛和一氧化钛薄膜的吸附能力进行高真空和超高真空测量。在室温条件下,钛和一氧化钛簿膜用作消气剂时所表现的特性明显相同;而在低温下,一氧化钛薄膜的吸附活性及吸附能力则高于钛薄膜。在低温气氛中,一氧化钛的吸附活性达到1,吸附能力超过了4×10~(16)分子数/厘米~2。在液氮温度下,一氧化钛对氩气的吸附能力非常强:吸附活性达到0.17,吸附能力达10~(16)氩原子数/厘米~2。
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