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介绍了新颖双框架角振动微机械陀螺的工作原理、结构特点、制备工艺及关键工艺的实验结果。
新颖双框架角振动微机械陀螺的制作
【摘 要】
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介绍了新颖双框架角振动微机械陀螺的工作原理、结构特点、制备工艺及关键工艺的实验结果。
【机 构】
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东南大学微电子中心
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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1999年5期
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