【摘 要】
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研究了在不同的碱液(NaOH,Na2CO3,NaHCO3,Na2SiO3,Ca(OH)2,CH3COONa)和异丙醇(IPA)制绒下单晶硅表面金字塔结构的变化情况,使用分光光度计测量了不同结构表面的反射率变化。
【机 构】
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南开大学信息技术科学学院电子科学与微电子系,天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室
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研究了在不同的碱液(NaOH,Na2CO3,NaHCO3,Na2SiO3,Ca(OH)2,CH3COONa)和异丙醇(IPA)制绒下单晶硅表面金字塔结构的变化情况,使用分光光度计测量了不同结构表面的反射率变化。结果表明,金字塔绒面的表面反射率与金字塔结构及大小分布情况有关,实验中获得的最低表面反射率为7.8%。金字塔结构断面SEM图显示金字塔顶角在断面上的投影角度不会随反应条件和金字塔大小改变,维持在80°左右。最后,通过制绒后硅片表面金字塔形貌的扫描电镜图样和反射率的分析,提出了织构率α的概念,得到了快速了解单晶硅表面金字塔覆盖率的方法。
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