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利用最小自由能法及质量流量守恒原则,对HF化学激光器的NF3-D2-He体系的化学平衡组分进行了计算,提出了F原子摩尔流量密度参量,分析了各输入气流的流量调节对燃烧室总温、总压、F原子产率等的影响。在燃料配比不变的情况下,总流量的增加使得F原子流量也成比例增加,而由此带来的总压升高引起的F2解离度、绝热燃烧温度、F原子摩尔分数的波动可以忽略。改变NF3流量或D2流量都可以实现对过量系数的调整。相对于改变D2流量,选择改变NF3流量能够获得更高的F原子的摩尔分数及摩尔流量密度、更小的燃烧室总压波动幅度。增加