【摘 要】
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导轨副的摩擦和磨损影响机构的进给精度,摩擦产生的金属粉尘使微进给机构不能满足超洁净制作环境要求.磁悬浮技术应用于微进给机构,可消除摩擦.结合直线电机能实现零传动的特
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林大学,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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导轨副的摩擦和磨损影响机构的进给精度,摩擦产生的金属粉尘使微进给机构不能满足超洁净制作环境要求.磁悬浮技术应用于微进给机构,可消除摩擦.结合直线电机能实现零传动的特点,分别设计了磁悬浮轴承形式和磁悬浮导轨形式的两种微进给机构,分析了它们的特点,阐明了进一步改善的方向.理论分析计算该微进给机构在垂直及水平方向的误差可控制在±1μm内,在水平方向能实现亚微米级进给精度.
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