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设计了一种基于磁场同步跟随的多自由度电磁悬浮式微驱动器，该驱动器悬浮单元和驱动单元相互独立，在一个机构中构建了集驱动、测量和控制于一体的磁悬浮微驱动新方法．通过对该驱动器的受力分析，得到了驱动器多自由度运动状态的数学方程．采用电涡流传感器和DSP控制器，建立了该微驱动器的测控系统，实验结果表明，该驱动器具有较强的稳定性与驱动能力，验证了力学分析的正确性．