【摘 要】
：
采用火焰水解法(FHD)在Si片(4.5cm)上快速淀积疏松多孔的SiO2厚膜材料,淀积速率达8μm/min.然后将该材料分别在真空/空气气氛中高温致密化处理,获得了各种形态的二氧化硅厚膜
【机 构】
：
吉林大学电子系光电子国家重点实验室
论文部分内容阅读
采用火焰水解法(FHD)在Si片(4.5cm)上快速淀积疏松多孔的SiO2厚膜材料,淀积速率达8μm/min.然后将该材料分别在真空/空气气氛中高温致密化处理,获得了各种形态的二氧化硅厚膜.其中包括平整度好、光滑透明的玻璃态SiO2厚膜,该膜厚度达到40μm以上,完全适合制作平面光波导器件.最后,利用XRD、SEM、光学显微镜等仪器对SiO2膜的表面和膜厚进行了测试分析,并讨论了影响致密化SiO2厚膜结构的各种因素.
其他文献
举世瞩目的三峡工程，投资巨大，还本付息的唯一手段是电站的发电收入。三峡机组是电站的心脏，其容量、尺寸举世无双，其技术难度在在，制造工艺、安装要求高，机组采购引起剧烈的竞争。
本文在分析互联网金融的特点与典型模式基础上,系统阐述当前互联网金融对中小企业融资产生的影响,包括及其贡献、问题及对策等方面。研究发现,互联网金融的贡献在于有效降低
万安水电站底孔护坦止排水系统在施工过程中曾发生质量事故，虽经处理，但无法直观检查。１９８９年７月，绝大部分护坦施工完毕，检查发现漏水现象严重。经过研究，决定采用新型高分子材料－－水溶性
罗泰克（ＲＯＴＥＣ）布料机在黄坛口电站扩建工程中的应用沈益源，杨有霖（中国水利水电第十二工程局水电二公司，浙江衢洲，３２４００９）１概况黄坛口水电站于１９５８年建成发电，原装机３０ＭＷ。扩建工程装机为２×２６ＭＷ，由厂房、２条
用非等分水头运行原理，通过对多余水垫产生、扩散的阐述，揭示消除水垫的措施及其意义，并研究了具体的设计方案，以实现“既不影响船闸航运能力及其他功能，又能提高船闸安全运行的可
根据《水利水电工程结构可靠度设计统一标准》（文中简称《水工统标》）规定的原则和方法，对现行《水工纲筋混凝土结构设计规范（ＳＤＪ２０－７８）》（文中简称《现行规范》）中的构件强度可靠度进行了校
现代农业是一种先进、发达、高效的新型农业生产方式,但大幅度提高农产品产量产值和农业的效益,有效缓解全球粮食安全危机的同时,也使农产品的质量安全和生态环境安全问题显
徽州地处皖南,自古以来,物产丰富,文教发达。与发达的文教相适应的徽州私人刻书(下称“徽刻”)也历史悠久,成就辉煌,在中国出版事业史上占有重要位置,在域内外有着一定影响,
ＬＹＺＳＢＥＥＳ是综合应用现代安全工程、面向对象技术、专家系统和人工神经网络等多学科集在技术，结合龙羊峡大坝安全监测特点而研制成功的“问题发现型”大坝安全性态评价专家系统；同时它又
伴随着科学技术水平的不断提高,电子信息技术给各行各业带来了巨大的便利,尤其在农业机械中的运用越来越广泛,有效提高了农业机械的质量和水平。电子信息技术在农业机械中的