【摘 要】
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采用微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）技术，利用氩气、甲烷、二氧化碳混合气体，制备出平均晶粒尺寸在7．480nm左右，表面粗糙度在15．72nm左右的高质量的超纳米金刚石薄膜；在此工艺基础
【机 构】
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西南科技大学材料学院,中物院应用电子学研究所
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采用微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）技术，利用氩气、甲烷、二氧化碳混合气体，制备出平均晶粒尺寸在7．480nm左右，表面粗糙度在15．72nm左右的高质量的超纳米金刚石薄膜；在此工艺基础上以硼烷作为掺杂气体，合成掺硼的金刚石薄膜．表征结果显示在一定的浓度范围内随着硼烷气体的通入，金刚石薄膜的晶粒尺寸及表面粗糙度增大、结晶性变好，不再具有超纳米金刚石膜的显微结构和表面形态；同时膜材的物相组成也发生改变，金刚石组份逐渐增多，并且膜层内出现了更明显的应力以及更好的导电性能．
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