【摘 要】
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基于分子束外延（MBE）技术,以反射式高能电子衍射仪（RHEED）作为实时监测工具,在经过Ga液滴刻蚀而具有纳米洞的GaAs衬底上沉积不同厚度的InAs材料形成量子点,并利用扫描隧道显微镜（S
【机 构】
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贵州大学大数据与信息工程学院,贵州财经大学教育管理学院
【基金项目】
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贵州省自然科学基金资助项目(黔科合J字[2013]2114号,黔科合J字[2014]2046号);贵州省教育厅自然科学研究资助项目(黔教合KY字[2014]265号);贵州大学研究生创新基金资助项目(研理工2015082)
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基于分子束外延（MBE）技术,以反射式高能电子衍射仪（RHEED）作为实时监测工具,在经过Ga液滴刻蚀而具有纳米洞的GaAs衬底上沉积不同厚度的InAs材料形成量子点,并利用扫描隧道显微镜（STM）研究了量子点的形成及分布与InAs沉积量之间的关系.结果表明,在GaAs衬底平坦区,InAs按照SK模式生长,在纳米洞位置,洞内及其周围的台阶会约束量子点的生长成核,而随着InAs沉积量的增加,这种约束会逐渐减小.特别是当InAs沉积量为2ML时,在纳米洞周围会形成尺寸均匀、分布有序且呈环状的量子点结构.
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