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本文采用超声振动辅助电火花脉冲放电表面强化技术进行了65Mn钢表面硅电极表面强化，设计了工具电极超声振动辅助电火花脉冲放电表面强化机床，研究了超声振幅和频率对强化层表面粗糙度、表面和截面形貌、Si含黉及相结构的影响规律。研究表明，选择合适的超声振幅和频率，可以提高强化层的表面粗糙度，改善强化层的表面形貌，使强化层厚度分布更加均匀致密，增加强化相的数量，辅助超声振动后强化层表面Si含量增加。