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用微细加工和精密加工相结合的方法研制成结构新颖的直径为２ｍｍ的电磁型微马达，其速度可调，转向可逆，较详细地讨论了电磁型微马达的驱动原理和制备工艺。
电磁型微马达的研究
【摘 要】
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用微细加工和精密加工相结合的方法研制成结构新颖的直径为２ｍｍ的电磁型微马达，其速度可调，转向可逆，较详细地讨论了电磁型微马达的驱动原理和制备工艺。
【机 构】
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上海交通大学信息存储研究中心
【出 处】
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功能材料与器件学报
【发表日期】
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1998年2期
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