B(C_2H_5)_3等离子辅助渗硼的研究

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对新型渗硼剂B(C2H5)3的渗硼工艺进行了研究。结果表明:在正常渗硼工艺条件下,基体表面没有形成连续致密的渗硼层,而是形成了一层数μm厚的硼碳层;在间歇渗硼工艺条件下,基体表面形成了一层致密的渗硼层,这是因为通过溅射消除了在渗硼过程中沉积在基体表面的硼碳层,使硼原子在渗硼时能无阻碍地向基体内部扩散的缘故 The boronizing process of the new boronizing agent B (C2H5) 3 was studied. The results show that under normal boronizing conditions, there is no continuous boronizing layer formed on the surface of the substrate, but a boron carbon layer with a thickness of several μm is formed. Under the condition of intermittent boronization, the substrate surface forms a layer A dense boronizing layer is formed because the boron-carbon layer deposited on the surface of the substrate during boronization is eliminated by sputtering so that the boron atoms can be diffused into the substrate without obstruction during boronizing
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