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介绍了针对早期的投影光刻机存在PDP-11计算机速度慢,控制系统难操作的问题,利用普通PC机通过GPIB卡替换了PDP-11计算机,使用VB语言编写的程序替换了主控制系统程序。
投影光刻机中PDP-11主控制计算机系统的替换
【摘 要】
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介绍了针对早期的投影光刻机存在PDP-11计算机速度慢,控制系统难操作的问题,利用普通PC机通过GPIB卡替换了PDP-11计算机,使用VB语言编写的程序替换了主控制系统程序。
【机 构】
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上海微高精密机械工程有限公司
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2011年8期
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