【摘 要】
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软薄膜的毛细黏附问题在微机电系统（MEMS）、生物系统中大量存在,同时在薄膜的生产工艺中也至关重要。研究了任意形状的软薄膜在毛细力作用下的黏附,建立了相应的能量泛函,推导
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软薄膜的毛细黏附问题在微机电系统（MEMS）、生物系统中大量存在,同时在薄膜的生产工艺中也至关重要。研究了任意形状的软薄膜在毛细力作用下的黏附,建立了相应的能量泛函,推导出了薄膜的挠度曲线以及相应的横截条件。并针对圆形软薄膜的毛细黏附,求解其挠曲线、横截条件,从而得到其临界黏附半径。计算中引入了表征黏附半径以及表面张力、薄膜张力组合的无量纲参数,得到了薄膜能够发生毛细黏附的参数临界值。这些分析对于工程设计,以及MEMS、生物系统的毛细黏附等有一定的参考价值。
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