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大偏转角偏转象差的分析与校正
大偏转角偏转象差的分析与校正
来源 :东南大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:squallcl
【摘 要】
:
应用多极场理论,研究了大偏转角情况下的偏转象差,给出了应用十极场微五级象差校正时的场表达式,计算了在多种情况下十极场对五级象差校正的影响,分析了多极场象差校正的方法。
【作 者】
:
张晓兵
尹涵春
【机 构】
:
东南大学电子学研究所
【出 处】
:
东南大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
1996年3期
【关键词】
:
多极场
大偏转角
偏转象差
象差校正
电子偏转
multipole field
aberration/large deflection angle.
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应用多极场理论,研究了大偏转角情况下的偏转象差,给出了应用十极场微五级象差校正时的场表达式,计算了在多种情况下十极场对五级象差校正的影响,分析了多极场象差校正的方法。
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