微电子工业园区谐波分析方法研究

来源 :化工自动化及仪表 | 被引量 : 0次 | 上传用户:peteryang
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对微电子工业园区主要谐波产生设备和谐波影响进行了分析,针对谐波分析方法,提出了采用复序列快速傅里叶变换算法并进行锁相控制,以克服传统FFT算法的缺点,并以微电子工业区某企业实测数据为例进行了谐波分析。
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