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介绍ＩＣ铝布线所存在的问题，采用铜布线替代铝布线是发展趋势，并就世界主要半导体公司已经和正在推出的多种铜布线ＩＣ，以及相关设备作一简介。
铜布线及其设备
【摘 要】
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介绍ＩＣ铝布线所存在的问题，采用铜布线替代铝布线是发展趋势，并就世界主要半导体公司已经和正在推出的多种铜布线ＩＣ，以及相关设备作一简介。
【机 构】
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无锡市无线电元件四厂
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1999年3期
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