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阴极射线发光分析方法是研究材料的结构和能态的重要手段。近年来，这种分析方法的灵敏度和功能等都获得很大改善，特别是在扫描电镜中，将阴极射线发光、二次电子、背散射电子和Ｘ射线特征谱等结合起来形成的综合测量方法，成为研究材料结构和微区性质的有力工具。文章介绍阴极射线发光分析方法的基本原理及其在ＧａＮ，ＳｉＣ，ＺｎＯ和量子线等新材料研究中的应用实例。