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论述了数字图像处理技术在全自动探针测试设备中的应用,介绍了图像处理中模板匹配算法原理以及晶圆自动对准定位技术的原理与实现手段。该算法能够完成晶圆片自动对准和晶圆启测测试芯粒自动定位,为探针设备的精确快速测试提供了可靠性保障。
自动对准定位算法技术在探针设备中的应用研究
【摘 要】
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论述了数字图像处理技术在全自动探针测试设备中的应用,介绍了图像处理中模板匹配算法原理以及晶圆自动对准定位技术的原理与实现手段。该算法能够完成晶圆片自动对准和晶圆
【机 构】
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北京中电科电子装备有限公司
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
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2021年1期
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