【摘 要】
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剑桥大学开发一种新型绝缘体上硅（SOD互补金属氧化物半导体（CMOS）热剪切应力传感器。这种传感器可以用铝或钨热膜作为传感元件进行湍流检测。该传感器在液体或空气动力学检测方
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剑桥大学开发一种新型绝缘体上硅（SOD互补金属氧化物半导体（CMOS）热剪切应力传感器。这种传感器可以用铝或钨热膜作为传感元件进行湍流检测。该传感器在液体或空气动力学检测方面具有广泛应用前景，例如飞机或水下设备的设计。该传感器的优点有超低功耗、无线操作、快速响应、高灵敏度、vspatial分辨率为130×130微米、低成本。
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