直拉硅单晶生长过程中工艺参数对相变界面形态的影响

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【摘要】

：

为改善晶体相变界面形态,提高晶体品质,提出了一种融合浸入边界法（immersed boundary method,IBM）和格子Boltzmann法（lattice Boltzmann method, LBM）的二维轴对称浸入边界热格子

【作者】

：

张妮刘丁冯雪亮

【机构】

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西安理工大学、晶体生长设备及系统集成国家地方联合工程研究中心,陕西省复杂系统控制与智能信息处理重点实验室

【出处】

：

物理学报

【发表日期】

：

2018年21期

【关键词】

：

晶体生长固-液相变浸入边界法格子Boltzmann法

【基金项目】

：

国家自然科学基金重点项目(批准号:61533014);国家重点基础研究发展计划(批准号:2014CB360508);高等学校博士学科点专项科研基金(批准号:20136118130001)资助的课题~~

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为改善晶体相变界面形态,提高晶体品质,提出了一种融合浸入边界法（immersed boundary method,IBM）和格子Boltzmann法（lattice Boltzmann method, LBM）的二维轴对称浸入边界热格子Boltzmann模型来研究直拉法硅单晶生长中的相变问题.将相变界面视为浸没边界,用拉格朗日节点显式追踪相变界面;用LBM求解熔体中的流场和温度分布;用有限差分法求解晶体中的温度分布.实现了基于IB-LBM的动边界晶体生长过程研究.得到了不同晶体生长工艺参数作用下的相变界面

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