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作者利用中国第一台金属蒸汽真空弧离子源(MEVVA源)引出的钼离子对HI3钢进行了不同束流密度下的离子注入。根据此源的特点,提出了相应的注入元素深度分布的计算方法。注入层的分析和测量是借助背散射(RBS)、X衍射(XRD)进行的。磨损测量表明,随着束流密度的变化,注入层的磨损性能将会发生相应变化。最后指出了MEVVA源的应用前景。