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小尺寸MOS器件参量具有很强的分布效应,需要二维模型描述,本文从y截面流函数方程求解获得了MOS器件中的沟道电流和衬底电流二维分布解析模型,模型是横向场Er(y)和纵向场Ex(y)的函数,二维分布模型截有较充分的物理过程,可以基本反映电流密度的实际分布,模型可应用于与电流路径相关的MOS器件特性的研究,特别重要的应用领域是MOS热载流子可靠性电子学中的栅电流分布建模,选和深亚微米MOS器件的横向场