CVD金刚石薄膜二次形核机制的研究

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根据实验观察分析提出了金刚石二次形核机制,此机制认为二次形核很容易在(100)晶面上和晶界上形成。通过比较(100)面的二次形核和形成新生长台阶的系统自由能差,可知当气氛中的碳氢基团浓度较大时,粘附在基底的碳氢基团发生堆集,如果堆集碳氢基团高度尺寸较大时将形成二次晶核。也对晶界二次形核的系统自由能差进行了推导,结果表明晶界二次形核是自发的,将导致体系自由能的下降。
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