110keVC~+入单晶Ta的研究

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用能量为110keV、剂量为3×1017ions/cm2的C+对单晶Ta进行了注入,分析了注入层的成分分布及其结构,考察了注入前后表面层摩擦磨损性能的变化及其特征。结果表明,C+注入层含有hcpTa2C及bccTa(C)相,其强化效应造成了注入层硬度、耐磨性的提高和摩擦系数的下降;样品表面与淬火态GCr15钢球间的磨损机制也由未注入时的粘着磨损转化为注入后轻微的磨粒磨损。 Single crystal Ta was implanted with C + at 110 keV and dose of 3 × 10 17 ions / cm 2. The composition distribution and the structure of the implanted layer were analyzed. The changes of friction and wear properties of the surface layer before and after injection were investigated. The results show that the C + implanted layer contains hcpTa2C and bccTa (C) phases, the strengthening effect causes the hardness and wear resistance of the implanted layer to increase and the friction coefficient decrease. The wear mechanism between GCr15 steel and quenched GCr15 Adhesive wear on injection translates to slight abrasive wear after injection.
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