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针对复合钝化膜刻蚀均匀性差的问题,提出改进光刻工艺,通过温度控制提高复合钝化膜刻蚀均匀性的方法.
复合钝化膜刻蚀工艺的探讨
【摘 要】
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针对复合钝化膜刻蚀均匀性差的问题,提出改进光刻工艺,通过温度控制提高复合钝化膜刻蚀均匀性的方法.
【机 构】
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淮阴工学院
【出 处】
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林业机械与木工设备
【发表日期】
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2004年11期
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