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结合微机电系统（micro-electronic-mechanical system，MEMS）扫描微镜结构以及单晶硅材料正交各向异性的特点，理论分析端面约束单晶硅直梁MEMS扫描微镜的应力特性，得到器件工作时扭转梁上正确的应力分布及其特征，所得结论与有限元仿真结果进行比较。结果表明由于端部约束效应的影响，作用在MEMS扫描微镜上的驱动力矩分别通过纯扭转力矩和横向弯矩，在扭转梁上传递，导致在扭转梁产生正应力、附加剪切应力和扭转剪切应力，其中扭转剪切应力最大值位于扭转梁中部截面长边中点处，而正应力和附加剪切