【摘 要】
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随着实际应用中的谐振器向小型化与高频发展,AT切石英晶体谐振器中寄生振动模式增多,寄生振动模式与主模式厚度切变模式之间的耦合问题越来越突出.因此有必要对与晶片X和Z
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随着实际应用中的谐振器向小型化与高频发展,AT切石英晶体谐振器中寄生振动模式增多,寄生振动模式与主模式厚度切变模式之间的耦合问题越来越突出.因此有必要对与晶片X和Z'尺寸均有关的寄生模式进行理论分析.以Mindlin的二维晶片方程为基础,运用有限元法求解AT切石英晶体谐振器的振动模式,得到了晶片频率随X长度变化的频谱图.其结果与Koga的实验结果比较,符合得比较好.与通常用解析解的方法分析的结果相比较,有限元法的优越性在于可得到更多的非直行波模式(非晶片长、宽方向),还可以模拟出各模式的主要位移分
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