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本文提出把位移测量中的绝对零光栅组成差分形式,应用到自准直平行光管上,有利于提高平行光管的精度,并分析讨论了影响精度的误差因素及大小。
差分零光栅自准平行光管中精度问题的讨论
【摘 要】
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本文提出把位移测量中的绝对零光栅组成差分形式,应用到自准直平行光管上,有利于提高平行光管的精度,并分析讨论了影响精度的误差因素及大小。
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1986年3期
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