一种改进的用于GaN的X射线动力学衍射理论模型

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本文给出了X射线衍射动力学理论中偏离因子的普遍表达式,并且从理论上证明了此表达式比原有理论更加精确.一个InGaN/GaN多量子阱样品的X射线摇摆曲线被测量并且用此新的表达式进行了拟合,从拟合结果可以看出测量曲线与拟合曲线之间的拟合程度更加接近,因而得到了更加精确可信的材料结构参数.
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