【摘 要】
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1.引言 近年来,多晶硅薄膜已越来越广泛地应用于半导体器件。在大规模MOS集成电路中,具有重要地位。其原因在于: (1)多晶硅薄膜作为硅栅电极代替铝栅电极具有下列优点: a.可
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1.引言 近年来,多晶硅薄膜已越来越广泛地应用于半导体器件。在大规模MOS集成电路中,具有重要地位。其原因在于: (1)多晶硅薄膜作为硅栅电极代替铝栅电极具有下列优点: a.可采用自对准技术,它不存在沟道复盖问题,从而减少了单管面积,提高集成
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