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论述了在电子束加工中,电子光学参数间的相互关系及它们对零件加工质量的影响。
电子束加工
【摘 要】
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论述了在电子束加工中,电子光学参数间的相互关系及它们对零件加工质量的影响。
【机 构】
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上海大学,上海电子光学技术研究所
【出 处】
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机械制造
【发表日期】
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1996年7期
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