【摘 要】
：
在0.18μm通用平台上加入一次性编程单元(OTP)后组成的衍生工艺被广泛应用于微控制单元(MCU)设计,由于OTP的尺寸非常小,为了使OTP拥有良好的数据保持(Data Retention)能力,SA
【基金项目】
：
上海市经济和信息化委员会软件和集成电路产业发展专项基金(1500223)
论文部分内容阅读
在0.18μm通用平台上加入一次性编程单元(OTP)后组成的衍生工艺被广泛应用于微控制单元(MCU)设计,由于OTP的尺寸非常小,为了使OTP拥有良好的数据保持(Data Retention)能力,SAB模组工艺非常关键,尤其是SAB刻蚀工艺,不能再采用同标准0.18μm工艺平台一样的单一刻蚀方法,必须采用以干法刻蚀为主、湿法刻蚀为副,干、湿相结合的方式进行刻蚀。因OTP的数据保持性能与干法刻蚀后有源区表面剩余SAB的量有关,所以SAB干法刻蚀非常关键。实验表明,只要干法刻蚀后有源区表面剩余SAB厚度控制
其他文献
知识互动程度评价对改善高校跨学科创新团队知识互动具有重要意义。在界定高校跨学科创新团队知识互动及知识互动程度内涵的基础上,创新性地从知识互动深度、互动广度、互动
目的:探讨乙状结肠扭转的发病机制、鉴别诊断及合理治疗方法。方法:回顾性分析11例乙状结肠扭转患者的临床资料,总结诊断要点及治疗方式选择的实践经验。结果:4例经保守治疗,
目的:探讨柔性管理在肝胆外科护理中的应用效果。方法:采用回顾性分析的方法,分析90例患者的临床资料,依据护理人员管理方式不同分为柔性管理组60例和常规护理组30例。结果:
应用信息熵值反映数据本身的效用值来计算指标权重系数,建立熵权综合评价模型,对重庆城市生态系统健康进行了评价.根据评价结果和灰理论数学建模特点,建立GM(1,1)灰色预测模
论文首先分析了新股发行"三高"现象,并从发行制度和外部环境两方面剖析"三高"现象的成因,最后提出废除保荐+直投模式、增加I P O定价约束条款、询价对象多元化且比例合理、采
中国是世界上棉花种植面积最大的国家之一。提高棉花的科技创新和产业化能力,对于提升我国棉花国际竞争力、增加农民收入、发展农村经济、稳定和发展棉纺业以及增加就业和稳
单环刺螠是一种身体不分节,两侧对称,并有体腔的软体海洋蠕虫,具有丰富的营养价值和药用价值。隶属螠虫动物门（Echiurioidea）、螠纲（Echiurida）、无管螠目（Xenopneusta）、刺螠科（Ure
目的:观察紧急气管插管在心肺复苏中的作用。方法:选择162例呼吸循环衰竭的患者随机分为紧急气管插管组和心跳呼吸停止后即刻插管组,将SpO2<60%,PaCO2>50 mm Hg(1 mm Hg=0.13
韩国作为杭州的主要客源市场,并没有得到很好的开发。为此,本文拟以4P营销理论为基础,针对杭州旅游业就韩国旅游市场的营销策略进行探索性的研究。 首先,本文对旅游市场营
纵观150多年的田径竞赛历程，田径竞赛是一个发展与停滞交替、成就与不足共存的历史，无论是从欧洲和北美洲还是从全球的角度来看，田径运动存在着大量难以解决的问题。