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采用磁控溅射的方法在316L不锈钢表面制备了氧化铒涂层。选用金属铒作为过渡层，研究了不同热处理温度对涂层相组成、表面形貌以及涂层与基底结合情况的影响。XRD，SEM及膜基结合力分析结果表明，带有过渡层的氧化铒涂层表面致密、均匀，退火处理使氧化铒结晶性能提高，经过800oC热处理，生成了金属间化合物ErFe3，提高了涂层与基底的结合强度。绝缘电阻率测试结果表明，Er2O3涂层绝缘电阻率在1×10^13～1×10^15Ω·cm，绝缘性能良好。