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低阻测量中消除线电阻和接触电阻的原理及实现
低阻测量中消除线电阻和接触电阻的原理及实现
来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:caicai432111
【摘 要】
:
论述了有源电桥在刻蚀低电阻时的测量原理及其方法,提出在低阻测量时消除线电阻及其接触电阻的方法,对测量精度进行了分析,对低阻测量及其控制有一定的参考价值.
【作 者】
:
黄永平
金玉善
汤建华
于前洋
邢忠宝
【机 构】
:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春五五所
【出 处】
:
光学精密工程
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
电桥
电阻
测量
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论述了有源电桥在刻蚀低电阻时的测量原理及其方法,提出在低阻测量时消除线电阻及其接触电阻的方法,对测量精度进行了分析,对低阻测量及其控制有一定的参考价值.
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