【摘 要】
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为解决在真空腔体中如何利用燕尾槽进行O形圈密封的问题,首先介绍了燕尾槽在金属有机物化学气相沉积（MOCVD）设备研制中的应用,接着介绍了O形圈密封失效的准则,然后利用ANSYS商
【机 构】
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华中科技大学机械制造及自动化系,广东昭信半导体装备制造有限公司
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为解决在真空腔体中如何利用燕尾槽进行O形圈密封的问题,首先介绍了燕尾槽在金属有机物化学气相沉积（MOCVD）设备研制中的应用,接着介绍了O形圈密封失效的准则,然后利用ANSYS商用软件对不同规格的O形圈及相应的燕尾槽建立了模型,并进行了分析和计算,最后得到了具有较高工程指导价值的结论。研究结果表明,在O形圈密封中,当密封槽采用燕尾槽时,O形圈的压缩率取20%左右,真空腔体的密封性能良好。
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