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本文综述了ZnO系气敏半导体材料的发展慨况,讨论了元件的结构与气敏效应的关系,评述了解释ZnO系气敏材料性质的敏感机理,探讨了目前存在的问题及今后的发展方向。
Zno系半导体陶瓷气敏传感器的进展
【摘 要】
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本文综述了ZnO系气敏半导体材料的发展慨况,讨论了元件的结构与气敏效应的关系,评述了解释ZnO系气敏材料性质的敏感机理,探讨了目前存在的问题及今后的发展方向。
【机 构】
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中国科学技术大学,中国科学技术大学
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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1991年3期
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