PLD法制备薄膜Ba0．85Ca0．15Ti0．9Zr0．1O3及其性能研究

来源 :贵州大学学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xiaoyun1986

【摘要】

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本文采用传统的高温固相反应法制备Ba0．85Ca0．15Ti0．9Zr0．1O3（BCTZ）陶瓷靶材，并利用脉冲激光沉积（PLD）法，在生长有SrRuO，底电极的SrTiO，（100）衬底上沉积BcTZ（BcTZ／SRO／STO）薄膜。通过对其生长工

【作者】

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张田田崔瑞瑞张弛邓朝勇

【机构】

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贵州大学大数据与信息工程学院

【出处】

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贵州大学学报：自然科学版

【发表日期】

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2016年1期

【关键词】

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脉冲激光沉积法 Ba0.85Ca0.15Ti0.9Zr0.1O3剩余极化值矫顽场 pulsed laser deposition method Ba0．85C

【基金项目】

：

国家自然科学基金项目资助（51462003）,贵州省高层次创新型人才项目资助（20154006）,贵州省研究生卓越人才计划项目资助（2014001）,贵州省科技厅联合资金项目资助（黔科合LH字[2015]7643）

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本文采用传统的高温固相反应法制备Ba0．85Ca0．15Ti0．9Zr0．1O3（BCTZ）陶瓷靶材，并利用脉冲激光沉积（PLD）法，在生长有SrRuO，底电极的SrTiO，（100）衬底上沉积BcTZ（BcTZ／SRO／STO）薄膜。通过对其生长工艺的探索，在沉积温度780℃，氧压13Pa，靶间距48mm，脉冲激光频率2Hz,激光能量200mJ的条件下可获得高择优取向、高结晶度的BCTZ薄膜。在此工艺条件下。制备不同膜厚的BcTZ薄膜。进一步利用x射线衍射仪（XRD）、原子力显微镜（AFM）、台阶仪、铁

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