【摘 要】
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本文对超真空玻璃油扩散泵获得大抽速作了一些分析,认为采取扩大泵的腔体和进气口径是克服玻璃材料强度差,获得较大抽速的两种好办法。并介绍了两种新型超高真空凸腔玻璃油扩
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本文对超真空玻璃油扩散泵获得大抽速作了一些分析,认为采取扩大泵的腔体和进气口径是克服玻璃材料强度差,获得较大抽速的两种好办法。并介绍了两种新型超高真空凸腔玻璃油扩散泵的设计和特性,泵的极限真空是1x10～-15乇,抽速分别是550升/秒, 850升/秒。 一、概述 油扩散泵增加
In this paper, some analysis is made on the large pumping speed of super vacuum glass oil diffusion pump. It is considered that two measures are taken to enlarge the pump cavity and inlet diameter to overcome the poor strength of glass material and obtain larger pumping speed. The design and characteristics of two new ultrahigh vacuum convex glass oil diffusion pumps are introduced. The ultimate vacuum of the pump is 1 × 10 ~ -15 torr, the pumping speed is 550 liters / second and 850 liters / second, respectively. First, an overview of the oil diffusion pump increased
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