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本文提出一种扫描电镜(SEM)扫描云纹法的相移新技术,通过SEM系统控制电镜电子束扫描线移动,对获取的云纹图像实现0～2π范围内的四步相移,从而获得了更高的位移测量灵敏度.同时对SEM相移实验技术的原理进行了详细的阐述.并将该技术应用到微电子机械系统构件的虚应变分析中.实验结果证明了该方法的可行性,该方法为微米云纹法的条纹处理提供了一种新途径.