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采用电化学和湿化学法结合的两步化学法制备了Co掺杂的ZnO薄膜。X射线衍射（xRD）结果表明Co掺杂没有改变ZnO薄膜的六角纤锌矿结构。扫描电镜（SEM）和透射电镜（TEM）结果表明薄膜是由ZnO单晶纳米棒组成。x射线光电子能谱（XPS）结果表明Co2＋替代了Zn2＋，实现了有效的掺杂。磁性测量的结果表明，样品在室温下的磁性表现为顺磁性和铁磁性的结合。