【摘 要】
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研究了对ＩｎＳｂ的激光划片过程，得出了刻槽深度和宽度随着脉冲重复频率、工作电流和刻划速度的变化规率。
The laser scribing process of InSb was studied. The variation rate o
【机 构】
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清华大学机械系,澳门大学科技学院,华北光电技术研究所
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研究了对ＩｎＳｂ的激光划片过程，得出了刻槽深度和宽度随着脉冲重复频率、工作电流和刻划速度的变化规率。
The laser scribing process of InSb was studied. The variation rate of notch depth and width with pulse repetition frequency, operating current and scribing speed was obtained.
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