论文部分内容阅读
为了克服常规静电微机械驱动器所存在的静电吸合现象，基于非均匀分布的静电场可以产生排斥力的原理，设计了一种新型的微机电系统变形镜驱动器。驱动器由5组电极构成，最大的一组由中心质量块和位于正下方的下电极组成，其它4组分别位于各条边上。中心质量块由4根L形弹簧支撑，每根弹簧分别固定于驱动器的4个锚点。利用有限元软件对驱动器的频率响应和暂态响应特性进行了仿真，结果表明，谐振频率高达4 kHz，暂态响应时间小于0.05 s。利用表面硅工艺加工出了驱动器，并利用白光扫描干涉仪对驱动器的静态位移电压特性进行了测试，测得