基于光谱光学相干层析技术的膜系反射光谱测量

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根据光谱光学相干层析(OCT)技术的原理,建立了光谱光学相干层析系统,并利用该系统测量了膜系的反射光谱。该方法通过傅里叶变换实现了光学相干层析信号光谱信息的提取,克服了传统反射测量方法测量结果不直观、受非测量面干扰等问题。测量所得的光谱反射率,与商业仪器的测量值吻合较好,均方差仅为0.0488。 According to the principle of optical coherence tomography (OCT), a spectroscopic optical coherence tomography system was established, and the system was used to measure the reflectance spectrum of the film system. The method realizes the extraction of spectral information of optical coherence tomography signal by Fourier transform, and overcomes the problems that the measurement result of the traditional reflection measurement method is not intuitive and is influenced by non-measurement surface interference. The measured spectral reflectance was in good agreement with the measurements of the commercial apparatus, with a mean square error of only 0.0488.
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