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硅超高速双极技术的潜力与变革方向
硅超高速双极技术的潜力与变革方向
来源 :电子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gzh0791
【摘 要】
:
本文评述了硅超高速双极技术的研究现状与极限,指出SiGe异质结构将显著提高现有纯Si器件的电性能,并将成为发展下一代硅超高速双极器件和电路的技术途径。
【作 者】
:
魏同立
郑茳
【机 构】
:
南京东南大学微电子中心
【出 处】
:
电子学报
【发表日期】
:
1994年2期
【关键词】
:
硅
硅锗
双极晶体管
异质结
Si
SiGe
Bipolar transistor
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本文评述了硅超高速双极技术的研究现状与极限,指出SiGe异质结构将显著提高现有纯Si器件的电性能,并将成为发展下一代硅超高速双极器件和电路的技术途径。
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