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研究了Ｔｉ（ＣＮ）薄膜内氧的作用。研究结果表明，Ｔｉ（ＣＮ）薄膜内加入氧后可以消除薄膜的柱状晶结构，薄膜的断口呈致密的纤维状组织。随着反应气体中空气或ＣＯ２气体流量的增加，Ｔｉ（ＣＮＯ）薄膜的硬度呈上升趋势，并在空气的流量为４０ｍｌ／ｍｉｎ或ＣＯ２的流量为１５ｍｌ／ｍｉｎ时（分别约占总量的１５％和６％），薄膜的硬度达到最大值。