【摘 要】
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运用金属有机物化学气相沉积法（MOCVD）,在LaAlO3（LAO）单晶上沉积YBa2Cu3O7-x（YBCO）超导薄膜。通过使用优化的进液装置,使金属有机源连续、稳定地输送至蒸发皿进行闪蒸。通过优化总
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
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运用金属有机物化学气相沉积法（MOCVD）,在LaAlO3（LAO）单晶上沉积YBa2Cu3O7-x（YBCO）超导薄膜。通过使用优化的进液装置,使金属有机源连续、稳定地输送至蒸发皿进行闪蒸。通过优化总气压、氧分压等生长条件,获得高质量的YBCO薄膜。在固定的温度条件下,调节反应总气压和氧分压,在总压为380Pa,氧分压为180Pa获得YBCO薄膜临界电流密度Jc=0.6MA/cm^2。随着氧分压增大,YBCO薄膜产生a轴取向,（005）峰向左偏移,且薄膜中的Cu/Ba由1.0变化至1.63。在Cu/Ba
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