Nb掺杂BaTiO3薄膜的激光分子束外延及其特性

来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zqqzqq

【摘要】

：

用激光分子束外延方法在SrTiO3(100)基底上外延生长了BaNbxTi 1-xO3(0.01≤x≤0.03)导电薄膜.原子力显微镜测得BaNb0.3Ti 0.7O3薄膜表面均方根粗糙度在2μm×2μm范围内

【作者】

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颜雷吕惠宾戴守愚陈正豪陈凡赵彤杨国桢

【出处】

：

红外与毫米波学报

【发表日期】

：

2002年z1期

【关键词】

：

激光分子束外延氧化物薄膜 BaNb0.3Ti07O3 超晶格 n型导电薄膜. laser molecular beam epitaxy oxide thi

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用激光分子束外延方法在SrTiO3(100)基底上外延生长了BaNbxTi 1-xO3(0.01≤x≤0.03)导电薄膜.原子力显微镜测得BaNb0.3Ti 0.7O3薄膜表面均方根粗糙度在2μm×2μm范围内为2.4*!,达到原子尺度光滑.霍尔测量表明BaNbxTi1-xO3薄膜为n型导电薄膜;在室温下,BaNb0 .02Ti0.98O3、BaNb0.2Ti0.8O3和BaNb0.3Ti0.7O 3薄膜的电阻率分别为2.43×10-4Ω*cm、1.98×10-4Ω*cm和

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