【摘 要】
：
极紫外光刻技术可以制造特征尺寸小于22 nm的芯片,是推动半导体集成电路发展的重要手段。极紫外光源是极紫外光刻系统的重要组成部分。激光辅助放电等离子体极紫外光源方法可
论文部分内容阅读
极紫外光刻技术可以制造特征尺寸小于22 nm的芯片,是推动半导体集成电路发展的重要手段。极紫外光源是极紫外光刻系统的重要组成部分。激光辅助放电等离子体极紫外光源方法可以使传统固体靶材作为放电等离子体所需要的材料,其装置结构简单,产生极紫外光源功率高,能够精确控制放电时间和提高放电的稳定性等,具有良好的应用前景。本文系统阐述了激光辅助放电等离子体极紫外光源相关研究进展,介绍靶材作为不同电极极性、不同放电参数和激光参数下放电等离子体极紫外光源的产生,并对不同条件下产生极紫外光源的特点进行了归纳总结,为更好地使
其他文献
会计政策变更，是指企业对相同的交易或者事项由原来采用的会计政策改用另一会计政策的行为。其会计处理方法主要有追溯调整法和未来适用法。在追溯调整法下，确定会计政策变更累
为了解决三自由度Delta机器人工作空间的仿真问题,在总结已有的Delta机器人工作空间仿真方法的基础上,基于Matlab和Catia提出了三种具有代表性的Delta机器人工作空间仿真方法
研究了空中机器人通过三维运动轨迹链的变化模拟人类表达情感的方法。针对三维空间中行为轨迹链所表达情感的认识问题,设计了轨迹链–情感标准集。针对多参数运动轨迹链设计,
一、精准扶贫方略概述首先,“扶贫开发推进到今天这样的程度,贵在精准,重在精准,成败之举在于精准。”习近平总书记的这句话,就是要在三个方面抓住扶贫的方略。
《易传》在加强领导者道德素养建设中具有不可或缺的特殊作用：《易传》“仁以行之”的思想有利于培养领导者的仁爱精神，从而更好地关心、爱护群众，全心全意为人民服务“知临”思
本文总结并比较了用LabVIEW访问数据库的几种方法,重点介绍了LabSQL数据库访问工具包,说明了在LabVIEW环境下,利用LabSQL实现与数据库交互的方法,实现某型人才数据管理任务。
狭隘环境下多机器人路径规划使用共享资源时,极易产生冲突,优先顺序化是解决共享资源冲突的一个重要技术。本文提出了一种基于学习分类器的动态分配优先权的方法,提高机器人
出名要趁早，但能在42岁中状元，还是不错。南通海门人张謇在科场打拼26年，苦尽甘来，大器晚成。
随机噪声雷达具有良好的抗干扰性,与合成孔径技术的结合能够使其具有成像能力。然而,由于发射信号无固定的解析表达,传统的成像算法不能直接用于随机噪声SAR成像。本文在波数
(接本刊2018年第10期《浅谈新风险理论(二)》)六、风险分类新视角、研究风险的目的,是为了把握其形成与演变规律,进而对其进行管理和控制。基础环节和核心内容之一,是对已经